Requisitos aplicáveis às salas limpas na indústria dos semicondutores

Os requisitos para salas limpas na indústria de semicondutores são os seguintes:
1. Requisitos de alta limpeza
A fabricação de semicondutores exige um ambiente limpo muito rigoroso. A limpeza do ar em salas limpas varia dependendo dos requisitos de diferentes processos de semicondutores, geralmente atendendo aos padrões da Classe 1 (igual ou inferior a 1 partícula de 0,1 mícron por pé cúbico) a Classe 100 (igual ou inferior a 100 partículas de 0,5 mícron por pé cúbico).
2. Controle preciso de temperatura e umidade
Os materiais semicondutores são altamente sensíveis à temperatura e umidade. A sala limpa precisa ser rigorosamente controlada em 20-25 °C, com uma faixa de umidade relativa de 40-60% e flutuações não excedendo ± 1 °C e ± 5% UR.
3. Fornecimento e distribuição de energia confiáveis e estáveis
A sala limpa requer um sistema dedicado de fornecimento e distribuição de energia para fornecer energia estável e redundante, garantindo a operação normal e ininterrupta dos equipamentos de processo. Ao mesmo tempo, é necessário ter funções de proteção e filtragem para evitar interferências de energia.
4. Fluxo razoável de ar livre de poeira
As salas limpas precisam ser equipadas com sistemas de filtragem e circulação de ar livre de poeira para garantir a distribuição razoável do fluxo de ar e sem cantos mortos, para que o ar limpo possa atingir totalmente todos os cantos. A velocidade do fluxo de ar e a pressão do ar também devem ser rigorosamente controladas para evitar que o ar externo flua de volta ou perturbe.
5. Projeto sísmico completo
Considerando os requisitos de estabilidade dos processos de semicondutores, as salas limpas geralmente precisam adotar medidas resistentes a choques para reduzir o impacto das vibrações externas no processo. A fundação deve ser suficientemente estável e equipada com dispositivos de amortecimento.
6. A seleção do material é livre de poeira e livre de poluição
O material da superfície da sala limpa deve ser livre de poeira e livre de poluição, e não produzirá partículas. Aço inoxidável, placas de alumínio, vidro temperado e outros materiais são comumente usados. Uma cortina de ar precisa ser instalada na entrada para evitar a entrada de poeira.